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전북대학교 임연호 교수(화학공학부)팀이 개발한 나노급 반도체 제작에 핵심이 되는 3차원 소프트웨어인 '3D SPEED'가 국내 대기업에 공급돼 상용화된다.

 

임 교수팀이 개발한 '3D SPEED'는 나노급 반도체 제조의 주요 공정(회로 패턴이 드러나도록 하는 과정, 실리콘 기판 위에 플라즈마를 이용해 얇은 막을 입히거나 패터닝 하는 과정)을 사전에 3차원 시뮬레이션을 통해 실제 공정 결과를 해석 및 예측할 수 있는 프로그램으로 반도체 제작에 있어 막대한 시간과 비용을 절감할 수 있는 신기술이다.

 

임 교수팀은 지난 5년간 국가핵융합연구소 플라즈마 DB 센터(윤정식 박사팀), 표준과학연구원 진공센터(유신재 박사팀), 부산대학교(이해준 교수팀), 경원테크(팀장 유동훈)와 컨소시엄을 구축해 공동 연구를 펼쳐왔다.

 

임 교수팀은 이같은 연구 결과를 기반으로 전북대 권오봉 교수팀과 경원테크와 공동으로 개발된 GUI 모듈들을 결합해 'K-SPEED'라는 소프트웨어로 개발되어, 국내 중소기업인 '경원테크(대표이사 서광원)'로 기술을 이전했다. 경원테크는 중소기업의 어려운 상황에서도 지난 5년간 본 소프트웨어의 상업화를 위해 아낌없는 지원을 해왔다.